干式螺桿真空泵原理主要是利用一對經精細動平衡校正的螺桿，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，所以使得干式螺桿真空泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩，噪音低，工作腔無需潤滑油。干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體，應用的領域主要在一些精細化工，制藥等極限真空更高，對環境污染更少的相關領域。目前我國高端的干式泵主要來自外國品牌，國內研發和生產干式泵的企業也在逐漸涌現。

　　干式螺桿真空泵，它利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備。它的優勢彌補了油封式真空泵的不足，但是干式螺桿真空泵的造價也是它的不足之處。接下來主要介紹它的優點和缺點：

干式螺桿真空泵的優點

　　1、工作腔及螺桿轉子表面有防腐涂層，可適應惡劣工況

　　2、氣體在泵內無壓縮，適宜抽取可凝性氣體

　　3、不耗油，無滴漏

　　4、結構簡單，維護方便。

5、被抽氣體直接排出泵體，不污染水，無環保壓力，氣體回收更便捷。

6、部分高端泵通過在泵表面設置一個夾層有效利用循環水解決泵體溫度過高的問題，比如NASH干式泵

干式螺桿真空泵的缺點

　　1、由于螺桿泵加工難度大，我國使用的螺桿泵主要依靠外國品牌，價格略顯昂貴。

　　2、不適于抽除含有爆炸性的氣體。

　　3、不適于抽除含氧過高的氣體。

　　隨著我國工業界的發展，在半導體工業、液晶顯示器、精細化工、醫藥等工藝制造中，對清潔真空環境的要求越來越高，而傳統的有油真空泵已經達不到這樣的要求了。螺桿型干式真空泵以其抽速范圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優點，得到越來越多制造和應用單位的重視，在干式真空泵市場中占有重要的地位。在歐美和日本等發達國家，螺桿型干式真空泵在很多領域已經越來越多的代替了傳統的水環式真空泵和油泵。